*坩堝噴涂烘烤裝置是多晶硅鑄錠爐的輔助工藝裝備,用于對鑄錠爐所使的石英坩堝進行脫模劑(SiN粉末)涂層噴涂。該裝置是鑄錠爐必備附機,采用先進的溫控勻熱技術及美國產高精密防飛霧噴槍,能幫助用戶完成高質量的坩堝噴涂,并減少原料的消耗!根據用戶需求,坩堝噴涂烘烤工藝裝備包括雙向回轉加熱器、脫模劑(SiN)泵送系統、坩堝烘箱等輔助附件組成。
該噴涂臺和噴槍適用于多晶硅坩堝的氮化硅涂層的噴涂。噴槍采用美國產的精密可調非金屬噴槍,攪拌器采用非金屬材料制成,在噴涂過程中絕對沒有金屬雜質進入多晶硅坩堝的涂層中,有效保證了氮化硅涂層的純凈。
一、旋轉臺技術規格:
a、加熱腔室:長880 mm×寬880 mm×深400~450mm
b、適用坩堝(外徑):870×870×420和480mm;
c、最大承重量:150(kg);
d、額定功率:9kW;
e、回轉角度:270°;
f、翻轉角度:15°;