產品介紹:
SW-A100此型儀器是給晶片定向的專用儀器。用于晶棒切割后,進行晶片的角度測量。采用手工上下晶片,自動測量角度方式,可保證晶體角度測量的準確性。為切片工藝控制提供專業的保障。
產品特點:
■ 速度快,該儀器為自動化測量儀器。儀器為雙工作臺,分別測量晶片的端面及參考邊角度。雙側可同時進行測量
■ 誤差小,開機校準方式為6次自動校準儀器,最大限度地消除校機誤差
■ 采用DC高壓模塊,具有峰值放大的特殊積分器,檢測精度高
■ 可測量角度的范圍可根據需要設置掃描范圍,最大范圍為3度
■ 操作簡便,不需要專業知識和熟練的技巧
■ 數字顯示角度,易觀察,出錯率低
■ 每次測量結果可以被記錄并保存,并可以隨時獲取測量角度的平均值
技術參數:
1.X射線發生器部分:
■ X射線管:銅靶,風扇冷卻,陽極接地
■ 最大管電壓:30KVP,全壓合閘
■ 管電流:0—5mA 連續可調
■ 輸入電源:單相交流220V,50Hz
■ 整機總耗電功率不大于0.3 KW
2.測角儀部分:
■ 晶片直徑:2-8英寸
■ 度、分、秒顯示方式:±15″,最小讀數1″
■ 測試范圍2θ角:-5~+110°
■ 定向精度:±30″
3.外型尺寸:1132(長)×642(寬)×1200(高)mm。
4.重量:300kg;
典型客戶:
臺灣及國內藍寶石及半導體客戶。