上海茂竺以高端技術(shù)產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)相輔并進(jìn)的快速發(fā)展模式。為半導(dǎo)體、醫(yī)藥及生物芯片等行業(yè)提供廠務(wù)所必需的潔凈材料部件(隔膜閥、EP(BA)管道等)以及特殊氣體設(shè)備[例如特氣柜(GAS CABINET) 、閥門箱(VMB)],化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)(例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。
上海茂竺信奉以客戶為中心的服務(wù)理念,提供設(shè)備安裝及二次配管等一系列高純系統(tǒng)的整體解決方案,采用自動軌道焊接技術(shù)(即自動氬弧焊接Automatic Weld),具體內(nèi)容覆蓋了從方案設(shè)計到安裝、測試等方面。茂竺電子通過控制項目的重復(fù)設(shè)計和建設(shè),達(dá)到花費(fèi)項目資金和周期的最小化。
我們主要服務(wù)于以下各行業(yè):
高亮度發(fā)光二極管外延HB-LED: 主要工藝設(shè)備 MOCVD 光刻機(jī)等
有機(jī)發(fā)光二極管OLED: PECVD, 濺射臺,蒸發(fā)臺OLED臺,OTFT臺,
太陽能電池:主要工藝設(shè)備 PECVD,SPUTTER等
硅外延:外延爐
微機(jī)電系統(tǒng)MEMS:主要工藝設(shè)備RIE,LPCVD,ICP,等離子清洗機(jī),濺射機(jī)等
醫(yī)藥及生物芯片:
平面及等離子顯示器:
化工:
其他材料薄膜制造設(shè)備:APCVD,LPCVD,MBE,HVPE等。
特氣設(shè)備及潔凈部件(特氣鋼瓶柜、閥門箱)主要用于控制高純特殊氣體,又稱電子特氣,包括氫氣H2、氮?dú)釴2、氧氣O2、 氬氣Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、乙硼烷B2H6、氨氣NH3、三氯一氫硅烷TCS、Freon氟利昂氣體、 氯氣CL2、氯化氫氣體HCL、三氯化硼B(yǎng)CL3、三甲基硼TMB、硼烷B2H6、二氯二氫硅烷DCS等等多種氣體或液化氣體。同時,提供危險氣體的泄漏探測器(探測系統(tǒng))及一般氣體的濃度偵測等服務(wù)。
產(chǎn)品及服務(wù):
上海茂竺 的特氣設(shè)備有特氣柜(Gas Cabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜),氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),閥門箱(VMB),閥門盤(VMP),氣體偵測器(Gas Detector),廢氣處理器(Scrubber)以及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺(CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。
上海茂竺公司還提供特氣設(shè)備的安裝服務(wù)、特氣系統(tǒng)的二次配管及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺的安裝、化學(xué)品供應(yīng)管道的配管等高潔凈要求的業(yè)務(wù)。
從日本、歐美等發(fā)達(dá)國家進(jìn)口的電子級材料,如EP級 (BA級、AP級)不銹鋼管道(Tube,SS316L,SS304,或稱電子級管道、超高純管道、潔凈管道),隔膜閥(Diaphragm Valve), 減壓閥(Regulator,或稱調(diào)壓閥),過濾器(filter,0.003μm),fitting(Gland ,Tee …)等等超高純特殊氣體系統(tǒng)中必需采用的各類零部件。同時,提供危險氣體的泄漏探測器(探測系統(tǒng))及一般氣體的濃度偵測等服務(wù)。