近幾年來，臺灣設備產(chǎn)業(yè)積極轉(zhuǎn)型布局太陽光電產(chǎn)業(yè)，在薄膜太陽能方面，其中銅銦鎵硒(CIGS)技術尤其受到設備業(yè)者的青睞，包括均豪、志圣及富臨等業(yè)者皆投入，在設備業(yè)者推動下，促成CIGS產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟成立，在第1階段推動計畫中，設備業(yè)者也扮演先鋒部隊，目前以均豪為首，已有7家材料設備廠加入，預計于2011年陸續(xù)推出設備機臺，并期望于2012年推出整線設備(turn-key)。

由于CIGS具有較高的轉(zhuǎn)換效率，吸引不少材料設備業(yè)者投入，包括志圣投入硒化爐，真空設備商富臨開發(fā)的G3.5濺鍍PVD生產(chǎn)設備，已出貨給臺系太陽能業(yè)者，并成功試產(chǎn)出CIGS薄膜太陽能電池，轉(zhuǎn)換率可達13%，另外也投入開發(fā)硒化爐，采用硒化氫(H2Se)為主要反應性氣體的硒化技術。至于均豪也基于其面板設備的基礎，投入濺鍍(sputter) 設備的開發(fā)。

根據(jù)工研院報告指出，目前在CIGS設備中的潛力設備廠商包括均豪、北儒、志圣、欽揚、友威、睿明、臺技等。在大面積制程中，目前臺灣已經(jīng)具備的設備包括吸收層設備、硒化設備、靶材與雷射畫線機等。至于正在發(fā)展中的設備包括快速升溫(RTP)硒化、硒化氫(H2Se)硒化、 CBD鍍膜及共蒸鍍機臺等。

不過均豪董事長葉勝發(fā)指出，CIGS設備開發(fā)投資金額大，中小企業(yè)負擔沈重，但若設備業(yè)沒有先開發(fā)出設備，就難以帶動整個產(chǎn)業(yè)界往前走，因此號召成立CIGS聯(lián)盟，希望政府能投入支持設備產(chǎn)業(yè)。尤其CIGS太陽能的開發(fā)重點是設備、材料與制程，必須三方面合作才行，在資金面上，希望政府能盡快提出法人科專或是學界科專，加速設備發(fā)展。

工研院太電中心主任藍崇文指出，CIGS聯(lián)盟以2012年推出轉(zhuǎn)換效率12%的整線設備為目標，其中第1階段從2010年7月到2011年底，以建立關鍵設備與材料能力為主，第2階段則從2011年底到2012年底，目標已推出整線設備為主。未來并布局次世代技術，包括非真空軟板卷對卷(Roll to Roll)與新材料技術。

葉勝發(fā)進一步指出，目前以均豪為首，共有7家材料設備業(yè)者加入聯(lián)盟，初期分別投入開發(fā)單機機臺，如均豪開發(fā)濺鍍設備，志圣開發(fā)硒化爐，另有業(yè)者開發(fā)模塊段設備及機械印刷設備等等，第1階段預定轉(zhuǎn)換效率為10%，第2階段預計將轉(zhuǎn)換效率提升至12%，并且將各家業(yè)者的設備整合，推出整線設備。