日前，中國政府發布了《國務院關于促進光伏產業健康發展的若干意見》(以下簡稱《意見》)，《意見》中對產品及技術的要求被業內大部分企業稱為“高準入門檻”，它明確規定新上光伏制造項目應滿足單晶硅光伏電池轉換效率不低于20%、多晶硅光伏電池轉換效率不低于18%等要求，這一要求無疑將引發新一輪的太陽能電池技術創新與設備改進。
作為致力于以先進研發實力制造設備的Schmid集團在此背景下參照了電池生產商的最新市場需求發展技術。隨著5500系列APCVD傳動式工藝爐的開發，一套為工業化量產高效率電池的成熟系統已經為一些特定應用領域準備就緒，特別是半導體行業的摻雜玻璃。

Schmid集團光伏事業部副總裁Christian Buchner 博士，認為Schmid集團的準確定位滿足了來自中國客戶的最新需求。“我們認真查閱了中國政府關于太陽能發展的建議后再次有信心相信在短期和中期內，只有一直在投資新技術設備，才可能生產效率超過20%的高品質電池，才能在市場上獲得最終生存。我們的整線解決方案保證多晶18%和單晶20%的效率。投資已經就緒，但只有在高效技術的支持下，才能確保以上電池生產的高效率。”

APCVD 是成功生產PERC電池的因素

據介紹，關于PERC生產工藝，Schmid是唯一可單獨提供所有制程的設備供應商。Schmid PERC工藝包括背面清洗，APCVD鍍膜和背面鍍膜面激光開槽。所有設備可以簡單集成到客戶已有生產線，并提供市場上最低的制造成本。

根據計算，Schmid集團應用于鈍化膜和覆蓋膜的APCVD技術，成本比ALD和PECVD工藝低40-50%。PERC電池由晶體硅組成。對于背面的鈍化，Schmid采用APCVD在硅片上鍍制氧化鋁層；背面有兩層覆蓋膜同樣通過APCVD技術制備。取決于不同的硅片質量，采用Schmid工藝技術，可獲得平均效率在20%-20.5%的Cz單晶硅PERC電池和18-18.5%的多晶硅PERC電池。