目前商業化生產的薄膜硅太陽能電池主要分為非晶硅(a-Si)薄膜和非晶/微晶硅 (a-Si / μc-Si) 疊層薄膜。其生產工藝首先是在玻璃基板上制造透明導電氧化物(TCO)，然后再通過PE C V D方法沉積p型、i型和n型薄膜，最后用濺射做背電極。目前工業化的TCO制備方法有濺射法(Sputter)和化學氣相沉積法(CVD)，分別在玻璃基板上形成ZnO:Al或ZnO薄膜?；瘜W氣相沉積通常使用的原料為二乙基鋅(DEZn)，其與水反應后生成ZnO和C2H6。

DEZn是無色液態化學品，密度1198kg/m3，具有自燃性、遇水反應性、毒性等特殊危害。DEZn在空氣中自燃，生成Z n O粉末、C O2和H2O，易導致灼傷。與水發生劇烈反應，生成ZnO粉末和C2H6氣體。其中ZnO對水生生物有劇毒，會對水生環境產生長期的不利影響。ZnO粉末也容易造成輸送設備和管道的堵塞。DEZn化學穩定性很低，在70℃以上即開始分解，高于120℃時分解產物包括Zn、C2H6、C2H4和H2等，過熱會導致容器的爆炸。因此，必須從工程設計、操作維護和應急反應等方面采取相應措施，預防事故發生。

在DEZn輸送系統的設計上，首先應對其危害性進行分析，通過本質安全設計，消除安全隱患。其次，采用監測手預防事故發生。最后，采用減災措施，降低事故后果。針對DEZn的特殊性質，系統設計在安全控制、工藝控制和純度控制等方面采取了特殊的技術措施，以實現把原料鋼瓶內的DEZn，安全連續地輸送到TCO設備。

安全控制方面，系統采用SS316L管道閥門材料，并進行保壓測試和氦檢漏，確保系統的機械完整性。DEZn鋼瓶和控制面板放置于抽風的防爆柜殼內，防止向外界環境的泄漏。柜殼內設置了高溫探測器和火焰偵測器，及時發出火情警報，并切斷DEZn供應。干粉滅火裝置用于及時撲滅柜殼內的火焰。采用自動風閥，確保火災發生時與廠務抽風系統的隔離，避免火勢沿風管蔓延。

工藝控制方面，通過穩壓氮氣，把鋼瓶中的DEZn平穩輸送到使用設備。壓力傳感器可隨時監控輸送系統壓力。電子秤監控鋼瓶重量，確保DEZn的連續供應。設備采用氣動閥，通過PLC實現全自動操作。

純度控制方面，系統采用不銹鋼S S316L材質，并經電解拋光處理。工藝閥門均采用隔膜閥，并以VCR方式連接。系統還考慮了防止D E Z n分解顆粒導致的堵塞問題。操作現場應配備合適的個人防護裝備(P P E)及應急反應器材，并明確標示逃生路線。DEZn操作需要編制并嚴格遵循標準操作規程(S O P)，確認己做的每一個步驟。

由于DEZn遇水發生劇烈反應，以及在空氣中自燃，及時發現并切斷泄漏源是防止火災擴大的最根本的手段。而供液站的消防措施主要是隔絕DEZn與空氣的接觸，常用的滅火劑有干粉、蛭石、沙土、珍珠巖等，禁止采用鹵代烷滅火器、水、泡沫等滅火劑。作者：  李東升,龔小雷,上海正帆超凈技術有限公司