熔煉坩堝在多晶硅澆鑄過程中起著十分重要的作用,尤其是凝固階段。在同一個坩堝內(nèi)完成硅晶片熔化和鐵水凝固的過程。因此,硅片在很長一段時間內(nèi)與坩堝材料保持接觸。該容器由石英玻璃構(gòu)成,必須承受很高的熱度,同時鐵水不能粘在坩堝的邊緣上――否則的話在鐵水凝固過程中,坩堝和鑄模都有可能爆裂。 為了防止這一情況的發(fā)生,通常情況下,坩堝在使用前會涂上一層氮化硅。目前,這一步驟都有鑄模生產(chǎn)商自行解決,但有出錯的風(fēng)險,導(dǎo)致前功盡棄。
為了替鑄模生產(chǎn)商掃除這些障礙,美國Ceradyne公司今年2月在亞特蘭大開設(shè)新工廠,專門生產(chǎn)已上涂層的坩堝。這樣就提高了涂層的準(zhǔn)確度。該廠最初計劃是每月生產(chǎn)1500個坩堝。此外,Ceradyne產(chǎn)品經(jīng)理Scott Higgenbottom表示,該公司中國分部預(yù)計在今年年底也將開辟涂層坩堝生產(chǎn)這塊業(yè)務(wù)。