KLA-Tencor Corp. (Milpitas, Calif.) 今天宣布推出太陽能電池檢測系統――PVI-6，對光伏硅片和電池進行在線雙面光學檢測。

檢測工藝貫穿于整個太陽能電池量產過程，從空白硅片到氮化硅(SiN)涂布、金屬鍍膜和最終的分類測試，而該設備則用于其中一部分檢測。KLA-Tencor表示，PVI-6軟件提升了整體太陽能電池量產工藝的成品率，并支持更精確的產品分選。 “KLA-Tencor的ICOS部門在光伏和半導體后段量測和檢測領域處于全球領先地位。

PVI-6基于超過6年太陽能產業的經驗和超過25年在檢測算法和成像技術及圖像處理上的經驗”，KLA-Tencor集團副總裁Jeff Donnelly表示。 KLA-Tencor說，PVI-6提供了更高的精度和可重復測量能力，達到4倍的測量精度提升，并提高了后段電池分選能力。系統配置了改進的校準和安裝程序，校準時間減少了約80%。