鑒定委員會由7位專家組成，中國電子專用設備工業協會孫洪濤秘書長擔任技術鑒定會主任委員，中國電子材料行業協會袁桐秘書長擔任技術鑒定會副主任委員，中國半導體行業協會陳賢秘書長、中國科學院電工研究所太陽電池技術研究室主任王文靜研究員、北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司事業部總經理張建勇、北京七星華創電子股份有限公司工業爐分公司副總經理譚三成、中國電子科技集團公司第四十五研究所副總工程師張續業等專家任技術鑒定委員會委員。鑒定委員會認為：京運通公司提供的技術鑒定文件齊全、規范，符合鑒定要求；該設備結構合理、性能優越，攻克了重大共性關鍵技術之中機械部分的上、下軸高度同心技術，上軸行程2000mm，下軸行程2600mm，可以拉制長度在2500mm以內的單晶硅棒；同時在單晶生長棱線識別系統、高精密夾持技術、大直徑多晶硅棒原料熔化技術、區熔熱場設計等方面具有創新性。主要技術指標滿足6英寸區熔單晶生長的要求。已申請專利 2 項，其中發明專利1項，形成了具有自主知識產權的6英寸區熔單晶爐的設備制造技術，該設備的性能指標達到了國產設備的領先水平；用該設備研發拉制了6英寸區熔單晶硅棒的工藝,并實現連續成功拉制。拉制的6英寸區熔單晶硅棒長度可達1.4米，等徑部分長度1.1米，重達52公斤，填補了國內空白。鑒定委員會同意通過該設備的技術鑒定。

國家02專項辦、北京市經信委、北京市科委、北京經濟技術開發區等相關部門領導也出席了此次技術鑒定會，并聽取了京運通公司所作的研制總結報告，考察了生產現場。

 

區熔硅單晶較一般電子級單晶硅具有更高純度和更高電阻率，其產品銷售價格數倍于直拉單晶。在應用領域上主要是用于IGBT器件、高壓整流器、大功率晶閘管，可控硅、電力電子器件、光敏二極管、射線探測器、紅外探測器以及國防建設、航天、航空和航海等尖端科技領域，對國民經濟發展和國防建設有著十分重要的作用，目前市場存在很大缺口，具有非常廣闊的產業前景。高壓大功率IGBT功率器件的發展要求高質量的單晶硅，對硅晶體中雜質和缺陷的控制要求極高，因而，在將來相當長一段時間內6英寸及以上大直徑區熔單晶硅始終是制造IGBT器件的主要基礎材料。

無論是國際還是國內區熔單晶硅發展形勢都非常好，但國內的大直徑生產設備則全部是引進國外的，國內還沒有具備生產大直徑（5英寸以上）區熔單晶硅的設備的企業。 區熔單晶硅生長爐是生產區熔單晶硅片的關鍵設備之一，世界上生產和銷售區熔爐的廠家只有丹麥的TOPSOE等少數幾家公司，目前國內設備保有量僅有十幾臺，且大直徑的區熔硅單晶爐都是進口，價格在2000萬元人民幣以上。而區熔單晶的制作工藝也需技術引進。公司的JQ-800區熔單晶爐的成功研制，填補了國內的這一項技術空白，具有劃時代的歷史意義。

由京運通公司研制的國產大型區熔單晶爐于近日連續成功拉制出6英寸區熔單晶硅棒，拉制出的首根6英寸區熔單晶棒整根重量達52公斤，等徑長度1.1米，全長1.4米，這是大型區熔單晶硅爐研制的重大且可喜的進步。同時公司研制的區熔單晶爐之前拉制出的5英寸區熔單晶硅棒經第三方檢驗，結果顯示該5英寸區熔單晶硅棒品質合格，各項指標均達到了設計要求。5英寸區熔單晶硅棒的質檢合格報告及6英寸區熔單晶硅棒的成功拉制，意味著我公司的區熔單晶硅爐研制項目取得了重大技術成果！這是國內首次應用國產設備成功實現6英寸區熔單晶硅的工藝生產，是國產區熔設備研制的重大突破，也是國產區熔設備的歷史性時刻，標志著國產區熔設備真正打破了國外對5-6英寸區熔單晶生產設備的壟斷，是向大尺寸區熔單晶設備產業化邁進的重大一步，更預示著國產高端設備的崛起。