大日本網屏制造將與岐阜大學合作開發太陽能電池用微結晶硅薄膜的評測技術,并基于共同研究成果,將于2009年底上市測定大型底板上形成的微結晶硅薄膜厚度的裝置。
大日本網屏制造自2008年7月正式開展太陽能電池相關業務,此前已上市分光Ellipso式膜厚測定裝置。而岐阜大學2008年10月在“未來型太陽能發電系統研究中心”內新設了評測大型太陽能電池結構的“太陽能電池模塊評測技術研究開發部門”。
此次的共同研究,將通過強化大日本網屏制造的分光Ellipso式膜厚測定裝置的功能,開發可以正確測定原來難以實現的微結晶硅薄膜的膜厚和膜質的技術。
微結晶硅薄膜是薄膜硅型太陽能電池使用的一種薄膜。目前業界正在進行將微結晶硅薄膜和非晶硅薄膜重疊以提高薄膜硅型太陽能電池轉換效率的研究開發。但微結晶硅薄膜存在成膜速度和膜質難以兩全的問題。