世紀(jì)新能源網(wǎng)報(bào)道(記者張松):近日,國家能源局2010年度國家能源科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)評審結(jié)果出爐,由北京京運(yùn)通科技股份有限公司報(bào)送的《JZ-460/660多晶硅定向生長凝固爐》研究成果獲得國家能源科學(xué)技術(shù)進(jìn)步三等獎(jiǎng)。
據(jù)了解JZ-460/660多晶硅定向生長凝固爐采用國內(nèi)先進(jìn)技術(shù),改良生產(chǎn)工藝,產(chǎn)品設(shè)計(jì)創(chuàng)新,技術(shù)領(lǐng)先,安全可靠,質(zhì)量穩(wěn)定;裝料量大,提高了產(chǎn)能;更趨完善的設(shè)計(jì)使溫場合理,提高良品率;硅液溢流自動(dòng)保護(hù)措施確保設(shè)備安全性;應(yīng)用CP與PLC等控技術(shù),實(shí)現(xiàn)全程自動(dòng);參數(shù)自動(dòng)存儲(chǔ)結(jié)合多種控制模式,增強(qiáng)設(shè)備可控性.工藝技術(shù)方案要具有先進(jìn)性和實(shí)用性,同時(shí)具備良好的安全性和經(jīng)濟(jì)合理性.該產(chǎn)品在單臺(tái)產(chǎn)能、裝料數(shù)量、硅錠尺寸、熱場控制等方面均超過國外產(chǎn)品。該項(xiàng)爐型的一次性投料將可達(dá)460~660KG,此設(shè)備在一次性投料重量等指標(biāo)方面達(dá)到世界先進(jìn)水平,該投料重量水平對于節(jié)省單位多晶硅錠能耗具有重要意義。
本成果主要?jiǎng)?chuàng)新內(nèi)容:
1.多晶硅爐傳動(dòng)系統(tǒng) 利用三個(gè)結(jié)實(shí)的絲杠連接下腔室和上腔室。撓性的驅(qū)動(dòng)電纜使3個(gè)絲杠作同步運(yùn)動(dòng)。一個(gè)大的直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)著絲杠上下運(yùn)動(dòng),以打開和關(guān)閉下腔室。上腔室頂部有與撓性驅(qū)動(dòng)電纜相連的3個(gè)滑動(dòng)組件,能夠上下移動(dòng)隔熱層以便控制硅錠的長晶過程。(ZL200820080641.2)
2.熱場控制 熱場用4個(gè)石墨板形成一個(gè)“正方形”的加熱器,使用加熱元件周圍隔熱層較平坦的元件隔熱。在不銹鋼籠里有兩層隔熱介質(zhì),由3個(gè)隔熱層提升桿支撐不銹鋼籠。3個(gè)石墨桿從下腔室支撐巨大的石墨塊。3個(gè)提升桿能上下提升隔熱籠,露出DS-Block底部,從而冷卻下腔室的四壁。這樣熱場內(nèi)就形成了一個(gè)豎直的溫度梯度使硅錠從熔體底部向頂部開始長晶。
3.硅液溢流自動(dòng)保護(hù)技術(shù) 在下爐蓋保溫材料上部設(shè)置不銹鋼傳感器線,在意外情況下,硅液流出坩堝,從下面隔熱層的開口處流到下面腔室地板上的保護(hù)鋁墊上,硅液會(huì)熔化鋁墊上的不銹鋼傳感器線,系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警,并實(shí)施保護(hù)。被鑒處于國際先進(jìn)水平。
4.SCR控制器調(diào)節(jié)主變壓器初級(jí)繞組的電壓 SCR控制器采用這樣的方式控制SCR:按一定的設(shè)定功率比,接通和斷開SCR的功率控制器。例如:設(shè)定功率比為30%,在30%的時(shí)間內(nèi)完全接通SCR控制器,在剩下70%的時(shí)間內(nèi)斷開SCR控制器。一般情況下,整個(gè)控制循環(huán)的設(shè)定時(shí)間為4秒,所以SCR控制器在1.2秒內(nèi)接通,在2.8秒內(nèi)斷開,然后重復(fù)這個(gè)循環(huán)。這種控制能顯著地提高功率的轉(zhuǎn)換系數(shù)和整個(gè)系統(tǒng)的有效功率。
北京京運(yùn)通科技股份有限公司成立于2002年8月8日,并于2008年10月31日改制為股份有限公司,注冊資金3.7億元人民幣,公司總資產(chǎn)達(dá)17億元人民幣,是我國真空晶體生長設(shè)備(包括軟軸單晶爐、多晶硅鑄錠爐、區(qū)熔爐、多晶硅還原爐等)研發(fā)制造于一體的專業(yè)生產(chǎn)廠家。
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