硅片是光伏電池片的載體，硅片質量的好壞直接決定了光伏電池片轉換效率的高低。硅片在經過切片、倒角、研磨、拋光等幾道工序后，表面不可避免地會受到不同程度的污染，因此，需要對硅片進行清洗，以去除其表面的一些顆粒、金屬離子以及有機物。但硅片清洗的好壞在一定程度上會影響硅片的質量，處理不當會損害硅片的穩定性與可靠性，甚至使得整個產品報廢。由于硅片在進入每道工藝之前表面都必須是潔凈的，所以需經過多次重復清洗，使得硅片的清洗工作成為一個繁瑣的問題，為此受到國內外研究機構及企業的重視。這是一個光伏行業不容忽視的工序。

清洗方法多種，超聲波清洗法領銜

硅片生產線因單、多晶的不同而分為兩條生產線：單晶硅片的生產設備包括單晶爐、切斷機、滾圓切方機、多線切割機、清洗機等；多晶硅片的生產設備包括多晶鑄錠爐、切方機、去頭尾機、多線切割機、脫膠、硅片插入、清洗機等。但無論哪種生產線都需要用到清洗設備，這是其必不可少的一個環節，因此硅片清洗設備有一個固定的市場，吸引了諸多企業的進入。

很多企業開發并生產硅片清洗設備，所以目前市面上有多種用于硅片清洗的工藝，比如超聲清洗法、RCA標準清洗、兆聲清洗法、高壓噴射法、離心噴射法、等離子清洗、氣相清洗、激光束清洗等等，形成了百花齊放的勢態。使用何種清洗工藝方法，需要根據不同客戶不同硅片上的表面狀態、潔凈度、污染情況等進行選擇。據業內反饋，在眾多的清洗方法中，使用較多的是超聲波清洗法與RCA標準清洗法。

RCA清洗法主要用于清除硅片表面的有機表面膜、粒子和金屬污染物。在RCA清洗工藝中涉及到兩組化學試劑，一般分兩個步驟將兩組化學試劑通過固定比例調成酸性液進行清洗。提到化學試劑，據很多清洗設備制造商反應，化學試劑即清洗溶劑是當前光伏硅片清洗設備的技術壁壘之一。因為試劑不同，各家所用的RCA清洗法也不相同，比如一些清洗步驟的增加或減少等，但無論是傳統RCA清洗法還是經過改良后的RCA清洗法，對去除硅片表面的大部分污染物還是有效的。雖然RCA清洗方法不錯但也存在弊端，如在生產過程中需要消耗大量液體化學品與超純水，加大了硅片的粗糙度等。

經過行業人士對硅片清洗方法的探索，超聲波清洗的優點逐漸顯現出來，它在切磨后除去大粒子方面操作簡單，清洗效果好。全自動單/多晶硅片超聲波清洗機一般由2個市水超聲波清洗（帶拋動）、2個堿性洗劑超聲波清洗槽、3個RO水超聲波溢流漂洗槽等7個槽體組成，附多個超聲波系統、加熱過濾循環系統、拋動系統、機械手系統、排風系統、控制系統等輔助裝置。超聲波清洗法也有弊端，即隨著粒子尺寸的減小清洗效果也在下降，同時由于聲能的作用，對硅片也存在潛在損傷。

此外，還有兆聲清洗法、氣相干洗等，隨著各種清洗方法的不斷改進與綜合使用，發展至今硅片清洗已不再是一個單一步驟，而是一個系統工程。未來清洗設備將向綜合化、集成化與全自動化方向發展，這就需要清洗設備制造商們加大研發力度，不僅僅是制造出設備，從某種程度上說，還需根據各家硅片企業的具體情況提供不同清洗方案，幫客戶最大限度地減少損失降低成本，同時減少清洗設備本身所產生的污染問題，避免再次污染。

硅片清洗設備市場現狀

國內目前已有超過上百家從事光伏裝備研發生產的企業，主要以硅片加工、電池片制造、組件生產和輔助設備制造為主，廠家多分布在華東、華北和華南地區。我國硅片清洗設備市場的分布，也呈現出一定的地域性，這與清洗設備廠商所服務的主要對象及硅片電池組件企業的分布情況有關，僅華東長三角地區硅片的消耗掉就占到全國總需求量的一半，其次則為華南、華北、西北、東北等地區。如同百花齊放的清洗設備一樣，硅片清洗設備企業也同樣如此，并呈現出自己的特色。

1．民營實力派品牌顯山露水

深圳市捷佳創精密設備有限公司，是一家從事光伏及綠色能源產業專用設備的制造商，其產品從宏觀上涵蓋了原生多晶硅料生產設備、硅片加工設備、晶體硅電池生產設備等，具體包括全自動硅芯/硅棒清洗設備、全自動硅料清洗設備、全自動硅片清洗設備、全自動單晶制絨酸洗綜合設備、多晶鏈式制絨設備、濕法刻蝕設備、等離子體刻蝕機、PECVD、非晶硅玻璃基片清洗設備等。

與很多光伏企業一樣，捷佳創成立的時間并不長，但在業內形成了一定的口碑與知名度，特別是在清洗設備市場中占有率頗高。據了解，該公司市場觸角延伸得較廣，像賽維LDK、東莞南玻、晶澳太陽能、英利等一些知名廠商均為其重要客戶。業內硅片企業對捷佳創產品的印象是：“捷佳創公司產品價格便宜、運行穩定，性價比不錯，就是外觀上看起來沒有國外設備精致。”

為確保產品的實用性以及保持市場的領先地位，捷佳創在技術研發上下了一定的功夫，僅在產品設計上已申請專利數十余項，涉及硅片清洗方面的專利有硅片清洗設備的抽風通道、工件清洗設備的脫水提升裝置等，該公司比較注重自主研發。

同樣在業內有一定口碑的國產民營設備制造企業還有上海釜川超聲波科技有限公司、無錫奧曼特科技有限公司、蘇州華林科納半導體設備技術有限公司、蘇州市昊日自動化設備有限公司等，這些企業都在市場上占有一定的份額。其中蘇州市昊日自動化設備有限公司定位中高端，目前主要客戶有阿特斯、天合光能、賽歷科技、西安合木等企業，擁有較完善的生產線。

2．中國電子科技集團各分所單位——實力厚、設備全

中國光伏產業近幾年的飛速發展，給設備行業帶來了新的發展機遇。 據了解，目前我國光伏設備在硅材料生產、硅片加工和電池片生產中，大部分環節已實現國產化。在這些國產設備軍團中有一股勢力不容小覷，即中國電子科技集團旗下的眾多分支單位，如48所、45所、2所等，通過近幾年的積累，國產設備已取得本土市場和客戶的認可。

中國電子科技集團第48所是目前中電科技集團旗下各所中光伏設備研發走在前列的單位，該所涉及光伏行業的主要產品基本分兩大類：一類是圍繞晶體硅光伏電池制造設備，一類是硅材料加工設備。硅片清洗設備屬于第二類，但目前該所主打產品是針對晶體硅光伏電池的設備。
中國電子科技集團2所在多晶硅片制造設備方面造詣頗深。多晶硅片工藝流程一般分為硅料分揀、腐蝕清洗、噴砂、鑄錠、線切、脫膠、預清洗、烘干、包裝等幾個工序，中國電科2所依靠自身工藝和技術優勢開發了除多線切割機以外的多晶硅鑄錠爐、硅材料腐蝕清洗線、硅錠/硅塊清洗機、硅片清洗/脫膠設備等一系列硅片制造設備，形成了完整的硅片生產鏈，目前可以提供多晶硅片整線集成服務和工藝支持。據悉，該所設備已應用于英利、天威薄膜、晶澳太陽能、光為等一批國內知名企業中。

此外，中國電子科技集團45所也在這一領域有相關的研發與生產銷售，但硅片清洗設備的市場份額在該公司的整個產品銷售中占比較小，屬于兼顧型設備產品，并不是該公司的主要業務。

3．張家港企業群——快速崛起、規模較小

熟悉江浙光伏產業的人會發現一個有趣的現象，這里很多地級城市都有各自的企業群集標識，比如寧波慈溪的接線盒企業、江蘇張家港的清洗設備企業等。由于江浙地帶分布著眾多的硅片、電池、組件企業，近距離的刺激了相關產業鏈配套企業的發展，加上江浙地區加工成本低廉、物流方便以及經濟發達的優勢，在巨大的市場利益驅動下，短時間內快速興起了一批批企業。

張家港市的清洗設備企業數得上名字的有近三十家，還有一些與之搭界的好多只有一兩條生產線的小企業和小作坊，崛起快、規模小、企業多成為張家港清洗設備企業群的一個特點。出現大批小規模企業的原因與張家港有濃厚的電器和電子行業的商業氛圍密切相關，很多企業的名字也都和電子有關；另外一個特點是這里的企業多以生產和銷售超聲波清洗設備為主，比較突出的幾家如張家港市容電氣有限公司、張家港華泰超聲科技有限公司等。

較好的產品性價比與服務使張家港市部分清洗設備企業的產品進入了國內一線硅片企業的車間，但還有一些企業屬于小作坊式，進入時間短，工藝并不精良，屬于乘行業發展之勢，希望短時間撈錢的投機型企業，此類企業只能靠低價搶食。

4．國外品牌定位高端，競爭力強大

一般情況下，只要是能生產制造晶硅電池清洗設備的企業，基本都能制造硅片清洗設備，因為晶硅電池清洗設備的技術含量與技術要求都要高于硅片清洗設備，且有些原理還是相通的。在多晶硅光伏電池片生產過程中，國內外約80%左右的在線式酸洗制絨設備市場由德國RENA公司和SCHMID公司等企業控制，這兩者在該領域一直處于領先地位，在低端產品價格廝殺比較激烈時，這兩家企業的競爭力并沒有被削弱。

德國SCHMID公司與RENA公司（瑞能）都是漂洗式設備領域的主流供應商，其中RENA的產品覆蓋了光伏濕法加工設備的大部分領域，包括自動化硅片清洗設備、單/多晶電池片制絨設備、祛PSG/周邊刻蝕設備等，從工藝研發到裝備制造都獲得了先機，是光伏濕法加工設備制造的佼佼者。

國外企業中，日本三洋、石井表記兩家公司也頗具競爭力，但由于這個市場競爭太激烈，很多國外企業選擇了放棄。

5.“攪局者”眾

自去年以來，無錫、寧波等地陸續有一批新企業進入這個行業。作為硅片清洗設備的后進入者，他們備受爭議。不少業內先行企業不愿意與之共舞，這是因為一些后進入企業存在諸多詬病，如在產品質量、產品定價、企業規模、企業規劃等方面，其表現都不盡人意，有些企業甚至成為市場的攪局者，使得原本競爭激烈的局面更加混亂無序，這給品牌企業以及國外企業帶來困擾。