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射頻磁控濺射制備的柔性襯底ZnO ： Al透明導(dǎo)電薄膜的研究

2011-04-25 6220 0.1M 0
射頻磁控濺射制備的柔性襯底ZnO ： Al透明導(dǎo)電薄膜的研究


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