產品特色
采用高優質的原生多晶硅料
確保產品有合適的電阻率
完美的晶體結構及良好的電學性能
產品參數
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產品規格 |
6'' |
6．5'' |
8'' |
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制備方式 |
CZ |
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導電型號 |
P |
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摻雜劑 |
B |
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晶向 |
<100>±2° |
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電阻率 |
1.0~3.0Ω.cm |
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少子壽命 |
≥8μs |
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氧含量 |
≤20ppm |
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碳含量 |
≤1ppm |
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直徑 |
≥∮153mm |
≥∮168mm |
≥∮203mm |
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電阻率反翹 |
不允許 |
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崩邊 |
不計入有效長度 |
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裂紋 |
不計入有效長度 |
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雙晶/孿晶 |
不計入有效長度 |
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位錯密度 |
≤3000個/cm2 |
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孔、洞 |
不允許 |
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