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156 X156 多晶硅片
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有效期至: 長期有效
最后更新: 2011-02-25 13:45
 
詳細(xì)信息
項(xiàng)目 標(biāo)準(zhǔn)
導(dǎo)電類型 P
摻雜劑 硼
邊長 156±0.5mm
形狀 方形
電阻率 0.5-3Ω.cm
少子壽命 ≥2μs
氧含量 ≤1×1018atoms/cm3
碳含量 ≤8×1017atoms/cm3
翹曲度 ≤30μm
總厚度差異 ≤40μm
位錯密度 ≤40μm
線痕 ≤40μm
崩邊 寬度≤0.4mm,延伸≤0.8mm,每片總數(shù)量≤2個,間隔≥30mm
表面質(zhì)量 表面清潔;無裂紋,明顯刀痕,凹坑,缺口,孔洞
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