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無接觸式測量 厚度 電阻率 TTV Bow\彎曲度 Warp\翹曲度 型號

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無接觸式 厚度 電阻率 手動
硅片要求 規格: 方片125125mm 、156156mm 圓片 3、4、5、6、8測量功能厚度:單點及多點厚度 TTV:總厚度偏差 體電阻率:單點及多點電阻
2013-01-30
無接觸式 厚度 TTV Warp\翹曲度 Bow\彎曲度
能夠測量Si,藍寶石,GaAs,InP,Ge等材料硅片要求規格: 晶圓2、 3、4、5、6、8測量功能 厚度:單點及多點厚度 TTV:總厚度偏差 Warp:翹曲度Bo
2013-01-30
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無接觸式測量 厚度 電阻率 TTV Bow\彎曲度 Warp\翹曲度 型號

 

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